特种气体在蚀刻中的运用_厦门二氧化碳_厦门液态氩气,厦门乙炔

汽车尾气排放标准气体的种类

汽车尾气排放标准气体的种类   0.5%CO/N2,0.5%一氧化碳,N2均衡气。   1.5%CO 800ppmC3H8/N2,1.5%一氧化碳 800ppm丙烷气,N2均衡气。   3.5%CO 3200p…

厦门氧气

蚀刻是选用有机化学和物理方法,有选择从硅片表层除去不用的原材料的全过程。刻蚀的目地是在点胶的硅片上恰当地拷贝掩膜图型。刻蚀分成湿式蚀刻和干法蚀刻。湿式蚀刻是利用液体化学药品或水溶液根据化学变化开展蚀刻。干法蚀刻利用底压充放电造成的等离子技术中的正离子或分散基与原材料产生化学变化,或根据负电子等物理学功效而做到蚀刻的目地。其关键物质是汽体。干法蚀刻的优势是各种各样(即竖直方位蚀刻速率远高于横着速率)显著、特点规格操纵优良、化工品应用和解决花费低、蚀刻速率高、匀称性好、合格率高。常见的干法刻蚀是等离子技术蚀刻。

    

环氧乙烷气体性质及安全防护

环氧乙烷(C2H4O)是没有颜色汽体,溶于强电解质,大部分是溶剂。点燃(溶解)物质:一氧化碳、二氧化碳。环氧乙烷的发生爆炸发布(%,摩尔分数):100,爆炸下限(%,摩尔分数):3.0. 环氧乙烷对身心健康的伤害。 环氧乙烷对神经中枢抑制效…

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硅片的蚀刻汽体(特种气体)主要是氟基汽体,包含四氟化碳、四氟化碳/co2、六氟化硫、六氟己烷/co2、三氟化氮等。但因为其各向异性,可选择性较弱,因而改善后的蚀刻汽体一般包含氯基(Cl2)和溴基(Br2HBr)汽体。反映后的反应物包含四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。铝和金属材料复合型层的蚀刻一般选用氯基汽体,CCl4Cl2BCl3等。物质关键包含AlCl3

    

蚀刻汽体汽体工业生产专有名词,蚀刻便是把衬底上无光刻技术掩蔽的生产加工表层如二氧化硅膜,陶瓷膜等蚀刻掉,进而有光刻技术掩蔽的地区储存出来,那样便在衬底表层获得所必须的显像图型。蚀刻的基础规定是,图型边沿齐整,线框清楚,图型转换差小,且对光刻技术膜以及掩蔽维护的表层没有受损的和钻蚀。蚀刻方法有湿式有机化学蚀刻和干法有机化学蚀刻。干法蚀刻常用汽体称蚀刻汽体,一般多见氯化物汽体,比如四氟化碳,三氟化氮,六氟己烷,全氟丙烷,三氟甲烷等。干法蚀刻因为蚀刻专一性强,加工工艺操纵精准,便捷,无开胶状况,无衬底损害和脏污,因此其运用范畴日渐普遍。

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乙烯气体的运输与储存

乙烯厂生产制造的乙烯商品大多数呈低温液态,经正中间贮缺罐后由管道道输送到界省外应用。近现代乙烯设备都设立大中型低温存储器皿,普遍的为球型储槽,也是有简形箱式器皿,初期液态乙烯用低温槽罐车、储油罐货车或火车运输至别的地域应用,之后也用专用型船…